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| 超净高纯试剂的制备、检测及包装技术进展 | |
| 引用本文： | 高嫒嫒,张广平,宋宽广,郝俪蓉,郑远洋.超净高纯试剂的制备、检测及包装技术进展[J].化学试剂,2014(8):713-718. |
| 作者姓名： | 高嫒嫒 张广平 宋宽广 郝俪蓉 郑远洋 |
| 作者单位： | 西安彩晶光电科技股份有限公司;西北工业集团 |
| 基金项目： | 2012年国家电子信息产业基金资助项目(工信部[2012]407号) |
| 摘 要： | 超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。在半导体工业中的消耗比例大致占10%~15%。超净高纯试剂制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的条件予以保障。简述超净高纯试剂的纯化技术、检测及包装技术进展。 |
| 关 键 词： | 超净高纯试剂 纯化 检测 包装 |
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