| 喷雾热分解法制备掺杂SnO2电热薄膜及其电热性能 |
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| 引用本文： | 赵鹏,郝喜红,许启明,田晓珍,姚燕燕. 喷雾热分解法制备掺杂SnO2电热薄膜及其电热性能[J]. 硅酸盐学报, 2004, 32(9): 1157-1160 |
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| 作者姓名： | 赵鹏 郝喜红 许启明 田晓珍 姚燕燕 |
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| 作者单位： | 西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055;西安建筑科技大学材料科学与工程学院,西安,710055 |
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| 基金项目： | 国家教育部重点基金(NO.02188)和西安市科技局产业化重点项目(NO.ZS200217)资助项目. |
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| 摘 要： | 以SnCl4·5H2O,SbCl3和ZnO为原料,采用喷雾热分解法在石英和陶瓷基材上制得了阻温特性良好的掺杂的SnO2导电发热薄膜.用X射线衍射,扫描电镜对薄膜进行了结构表征.研究了Sb,Zn的不同掺杂浓度及热处理温度对薄膜电阻特性的影响.实验结果表明当三氯化锑和氧化锌掺量摩尔分数分别为8.2%和17%时,薄膜的方阻R□为32Ω/□.
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| 关 键 词： | 氧化锡薄膜 喷雾热分解 电热特性 |
| 文章编号： | 0454-5648(2004)09-1157-04 |
| 修稿时间： | 2003-12-01 |
PREPARATION OF SnO2 THIN FILMS BY SPRAY PYROLYSIS PROCESS AND ITS ELECTRIC HEATING PROPERTY |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tin dioxide thin film spray pyrolysis electric heating property |
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