| 常规扫描电子显微镜的特点和发展 |
| |
| 引用本文： | 干蜀毅.常规扫描电子显微镜的特点和发展[J].分析仪器,2000(1):51-53. |
| |
| 作者姓名： | 干蜀毅 |
| |
| 作者单位： | 合肥工业大学精密仪器系,合肥,230009 |
| |
| 摘 要： | 介绍了常规扫描电子显微镜（ＳＥＭ）的工作原理、缺陷及采取的改进措施。由此起来的环境扫描电子显微镜（ＥＳＥＭ）的性能已大幅度提高，其使用范围和领域大为扩展。
|
| 关 键 词： | 扫描电子显微镜 SEM ESEM |
| 修稿时间： | 1999－07－09 |
Characteristics and development of conventional scanning electron microscope |
| |
| Gan Shuyi.Characteristics and development of conventional scanning electron microscope[J].Analytical Instrumentation,2000(1):51-53. |
| |
| Authors: | Gan Shuyi |
| |
| Affiliation: | Gan Shuyi
(Department of Precision Instruments, Hefei University of Technology, Hefei, 230009) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
