| 工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层形貌及性能的影响 |
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| 引用本文： | 张会霞 杨建明 冯光光 战宏伟. 工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层形貌及性能的影响[J]. 有色金属工程, 2012, 2(6): 29-32 |
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| 作者姓名： | 张会霞 杨建明 冯光光 战宏伟 |
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| 作者单位： | 淮海工学院 机械工程学院,淮海工学院 机械工程学院,江苏科技大学 材料学院,绿源工程设计研究有限公司 |
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| 基金项目： | 江苏省海洋资源开发研究院2011年度开放基金项目(JSIMR11C27) |
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| 摘 要： | 研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响。结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低。工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流>基体负偏压>氮分压。对膜基结合力影响次序为:基体负偏压>氮分压>TiAl合金靶电流。在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa。
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| 关 键 词： | 梯度膜层 工艺参数 Ti0.33Al0.67N |
| 修稿时间： | 2012-05-27 |
Effects of Process Parameters on Thickness and Deposition rate of Ti0.33Al0.67N Gradient Film |
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| ZHANG Hui-xi,YANG Jian-ming,FENG Guang-guang and ZHAN Hong-wei. Effects of Process Parameters on Thickness and Deposition rate of Ti0.33Al0.67N Gradient Film[J]. Nonferrous Metals Engineering, 2012, 2(6): 29-32 |
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| Authors: | ZHANG Hui-xi YANG Jian-ming FENG Guang-guang ZHAN Hong-wei |
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| Affiliation: | College of Mechanical Engineering,Huaihai Institute of Technology,College of Mechanical Engineering,Huaihai Institute of Technology,Department of Materials,Jiangsu University of Science and Technology,Jiangsu Lvyuan Engineering Design Research CoLtd |
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| Abstract: | Through the test of different substrate negative bias, nitrogen partial pressure and alloy target current parameters, Discussion on Ti0.33Al0.67N Gradient film deposition rate. The results show that, the film thickness changes in smaller by different substrate negative bias voltage.Minimal effects of deposition rate. But the nitrogen partial pressure and alloy target current on deposition rate influence. |
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| Keywords: | Gradient film Process parameters Ti0.33Al0.67N |
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