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| 具有频率输出的硅压力传感器 | |
| 作者姓名： | Eibl. J 吴原 |
| 摘 要： | 本工作提出的具有频率输出的硅压力传感器是建立在CMOS环形振荡器基础上的,该环形振荡器是放置在传感器芯片的薄膜上的.由于压力压阻效应,施加的压力在薄膜上产生的机械应力改变了环形振荡器中MOSFET载流子的迁移率,从而MOSFET的漏电流及相应的环振频率成为压力的函数. |
| 关 键 词： | 硅传感器 压力传感器 频率输出 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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