多晶硅铸锭炉加热室的结构设计技术分析 |
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作者姓名: | 侯春娟 杨莉娜 |
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作者单位: | [1]晶海洋半导体材料(东海)有限公司,江苏连云港222000 [2]罗盖特(中国)精细化工有限公司,江苏连云港222000 |
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摘 要: | 多晶硅铸锭炉的加热室的结构设计对多晶硅锭的熔铸,有着重要的作用和意义。加热室是多晶硅铸锭炉的重要组成部分,对多晶硅锭的生产过程有着调整作用,需要优化结构设计,提高加热室的结构设计技术。文章简述多晶硅铸锭炉,分析多晶硅铸锭炉加热室的结构设计,研究提高多晶硅铸锭炉加热室结构设计的影响。
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关 键 词: | 多晶硅铸锭炉 加热室 结构设计 技术分析 |
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