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| 纳米级加工技术概述 | |
| 引用本文： | 苑国良.纳米级加工技术概述[J].世界制造技术与装备市场,2002(1):46-46,49. |
| 作者姓名： | 苑国良 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 纳米是长度的计量单位,为1mm的百万分之一。纳米技术是一门在0.1nm～100nm空间尺度内操纵原子和分子,对材料进行加工,制造出具有特定功能的产品,或对某物质进行研究,掌握其原子和分子的运动规律和特性的崭新高技术学科。纳米技术还是一门多学科交叉的横断学科,它是在现代物理学、化学和先进工程技术相结 |
| 关 键 词： | 纳米级加工技术 超精密机械加工技术 能量速加工技术 LIGA技术 STM技术 |
Introduction to Nano- processing Technology |
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