| MEMS显示技术 |
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| 引用本文： | 耿卫东,刘会刚,商广辉. MEMS显示技术[J]. 液晶与显示, 2008, 23(2): 230-234 |
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| 作者姓名： | 耿卫东 刘会刚 商广辉 |
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| 作者单位： | 南开大学,光电子所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津,300071 |
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| 摘 要： | 由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展.文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器.讨论了各种技术的优势和应用局限性,指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向.
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| 关 键 词： | 数字微镜器件 光栅光阀 干涉调制显示器 微电机系统 MEMS 显示技术 Technologies 方向 材料 开发 降低成本 改进工艺 应用局限性 优势 显示器 调制 干涉 Display 美国 光栅光阀 发明 斯坦福大学 镜技术 数字 |
| 文章编号： | 1007-2780(2008)02-0230-05 |
| 修稿时间： | 2007-12-18 |
MEMS-Based Display Technologies |
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| GENG Wei-dong,LIU Hui-gang,SHANG Guang-hui. MEMS-Based Display Technologies[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2008, 23(2): 230-234 |
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| Authors: | GENG Wei-dong LIU Hui-gang SHANG Guang-hui |
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