一种可在高温条件下工作的压力传感器

本文介绍了一种可以在高温条件下工作的压力传感器。这种以兰宝石材料为感压膜片的压力传感器,由于其应变电阻是外延在绝缘性能良好的兰宝石材料上的,所以这种传感器耐高温,适合在高温条件下使用。传感器的主要技术指标为,量程0—0.6mPa,0—1.0mPa,使用温度为0—300℃,最高可达465℃。精度优于0.5%F.S。这种传感器已于八六年十二月在沈阳通过部级鉴定。