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| CVD金刚石薄膜涂层工具衬底预处理方法 | |
| 摘 要： | 目前普遍采用的衬底表面预处理方法有：①表面脱Co处理：采用HCl、HNO3、H2SO4等对衬底表面层中的co进行酸蚀处理；采用氢等离子体或含氧的氢等离子体刻蚀Co；采用化学试剂钝化等方法使衬底表面层中的Co失去活性；采用化学反应置换Co，将硬质合金衬底刀具放入化学试剂中，利用置换反应将表面层中的Co置换成其它物质（如Cu）。②在金刚石薄膜与衬底之间预沉积中间过渡层， |
| 关 键 词： | CVD金刚石薄膜 衬底表面 预处理方法 涂层工具 氢等离子体 等离子体刻蚀 置换反应 化学试剂 |
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