等离子蚀刻气的命名规则

如果碳氢化合物的氢原子部分或全部被卤素(氟、氯、溴、碘)取代，就称之为卤代烃。现在，这类碳氢化合物在半导体元件等离子蚀刻工艺中得到了广泛的应用。但是，在等离子工艺产生之前，化学工业已给这类化合物规定了标识号码，如氟里昂-14中的“14”。这类标识号码是其化学名称的简写符号，但在微电子学领域里，了解这一点的人寥寥无几。