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真空的激光电离测量技术的研究与发展
作者姓名:叶志斌 齐京
作者单位:清华大学电子工程系
摘    要:介绍了激光电离方法在真空测量方面的应用,总结了真空的激光电离测量技术的优点和面临的问题。

关 键 词:激光电离 真空测量 有效电离体积 电离效率
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