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Silicon Micromachining: Electrochemical Micromachining as an Enabling Technology for Advanced Silicon Microstructuring (Adv. Funct. Mater. 6/2012) |
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| Authors: | Margherita Bassu Salvatore Surdo Lucanos Marsilio Strambini Giuseppe Barillaro |
| Affiliation: | Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni ‐ Università di Pisa, via G. Caruso 16, 56122 Pisa, Italy |
| Abstract: | |
| Keywords: | silicon micromachining electrochemical etching microstructures microsystems micro‐electromechanical systems (MEMS) microgrippers |