管式镀膜工艺对太阳电池并联电阻的影响

主要研究不同沉积方式下并联电阻的差异,同时对管式镀膜工艺在不同工艺条件下并联电阻的变化关系进行研究。研究表明,影响并联电阻的主要因素为温度、氮硅比,并联电阻随温度的降低而不断升高,随温度的升高而降低;且其随氮硅比的增加而上升,随氮硅比的减少而下降。