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105g压阻式加速度微传感器实时自补偿技术的研究
引用本文:王大坤,刘晓明.105g压阻式加速度微传感器实时自补偿技术的研究[J].中国测试技术,2005,31(3):17-20.
作者姓名:王大坤  刘晓明
作者单位:电子科技大学机械电子工程学院,四川,成都,610054
摘    要:针对测试10^5g压阻式加速度微传感器的温度补偿问题,本文从温度补偿的基本原理出发,通过推理和演绎,得出温度补偿公式。提出用软件编程和DSP的方法对传感器进行温度补偿,实现了传感器温度补偿的实时性和智能化。并提供了相应的实验数据,证明所提出的实时自补偿方法是切实可行的。

关 键 词:10^5g  DSP  实时性  自补偿
文章编号:1672-4984(2005)03-0017-04
修稿时间:2004年9月3日

Research on realtime self-compensation technique of 105g piezoresistance acceleration micro sensor
WANG Da-kun,LIU Xiao-meing.Research on realtime self-compensation technique of 105g piezoresistance acceleration micro sensor[J].China Measurement Technology,2005,31(3):17-20.
Authors:WANG Da-kun  LIU Xiao-meing
Abstract:Contraposing the 105g piezoresistance acceleration micro sensor of temperature compensation problem,this paper deduce the formula of temperature compensation from the ultimata of temperature compensation.It presents that the micro sensor is compensated in temperature by the method of programme and DSP to actualize the character of realtime and brainpower in the temperature compensation of micro sensor.This paper provides the relative experiment data to prove that the method of the realtime self-compensation is feasible.
Keywords:105g  DSP  Realtime  Self-compensation
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