| 微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析 |
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| 引用本文： | 陈非凡,殷玲.微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析[J].仪器仪表学报,2001,22(Z2):341-343. |
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| 作者姓名： | 陈非凡 殷玲 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(69978008)、教育部高等学校骨干教师资助计划资助. |
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| 摘 要： | 微纳米技术的迅速发展促使微机电系统(MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统(MOEMS),从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能.在MOEMS的设计中,仅用传统的分析手段已经不够,其建模和仿真需要用到有限元分析.本文提出了一种可编程相位光栅的可变形结构,运用经典理论建模,通过计算得到其变形的定性分析结果和定量的近似结果,并提出一个用有限元分析软件ANSYS进行有限元建模的实例,得到相应的仿真结果.
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| 关 键 词： | 可编程相位光栅 微光机电系统(MOEMS) 有限元分析 |
Structure Analysis and FEA of Micro Programmable Phase Grating |
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