压印模具的精密制造工艺优化研究 |
| |
引用本文: | 王立永,李涤尘,卢风兰. 压印模具的精密制造工艺优化研究[J]. 精密制造与自动化, 2003, 0(1): 42-44 |
| |
作者姓名: | 王立永 李涤尘 卢风兰 |
| |
作者单位: | 西安交通大学先进制造技术研究所,710049 |
| |
摘 要: | 在压印光刻中,信息的复制是难点,而模具的制造是信息复制的途径。为了获得高精度的压印模具,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。通过分折模具的表面质量,得到了压印模具制作的最佳工艺组合。
|
关 键 词: | 集成电路 压印光刻 硅橡胶 压印模具 精密制造 工艺优化 |
Optimizing Research for Precise Manufacturng Process of Embossing Mould |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | |
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录! |
|