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| 压印模具的精密制造工艺优化研究 | |
| 引用本文： | 王立永,李涤尘,卢风兰. 压印模具的精密制造工艺优化研究[J]. 精密制造与自动化, 2003, 0(1): 42-44 |
| 作者姓名： | 王立永 李涤尘 卢风兰 |
| 作者单位： | 西安交通大学先进制造技术研究所,710049 |
| 摘 要： | 在压印光刻中，信息的复制是难点，而模具的制造是信息复制的途径。为了获得高精度的压印模具，在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。通过分折模具的表面质量，得到了压印模具制作的最佳工艺组合。 |
| 关 键 词： | 集成电路 压印光刻 硅橡胶 压印模具 精密制造 工艺优化 |
Optimizing Research for Precise Manufacturng Process of Embossing Mould |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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