细长石英管内直流放电等离子体研究 |
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引用本文: | 王权,王波,刘云辉,张天一.细长石英管内直流放电等离子体研究[J].真空科学与技术学报,2018(4). |
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作者姓名: | 王权 王波 刘云辉 张天一 |
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作者单位: | 北京工业大学材料科学与工程学院;枣庄科技职业学院机械工程系 |
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摘 要: | 利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100 Pa时,电子密度最大,本装置所测最大密度为1.03×10~(17)m~(-3);电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小;放电距离越远,对击穿电压要求越高,分段式放电可以在较低的放电电压下,对较远的电极距离实现直流放电。
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