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集成电路厂房动力站系统设计

作者姓名：	杨乐辉李元昊武晔秋

作者单位：	陕西同济土木建筑设计有限公司;西安热工研究院有限公司;山西大同大学建筑与测绘工程学院

摘要：	针对集成电路厂房生产工艺特点,介绍了其动力站冷冻水系统、压缩空气系统、空分制氮系统、热水系统、纯水系统及事故通风系统设计及设备选择。
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