离子强化沉积技术

<正> 采用离子注入方法进行工具表面强化处理的技术目前有了新的发展,英国哈威尔研究中心报导了这种称为离子混合和离子强化沉积的工艺方法. 当用离子束来轰击很薄的沉积涂层时,离子会穿透界面区,并促使相互混合。其作用机理是