气体渗硼孔洞的产生机制及防止方法

通过对渗层孔洞的电子探针扫描和气体渗硼的热力学分析证实，孔洞主要是由Ｆｅ－Ｃｌ产物组成，气氛中的残留Ｈ２Ｏ、Ｏ２加剧了产物的形成。严格控制气氛中残留Ｈ２Ｏ、Ｏ２含量，不仅可有效地防止孔洞的形成，而且可大幅度降低ＢＣｌ３用量。讨论了Ｂ、Ｃｌ２的扩散特点及温度对孔洞形成的影响。