| TiN／NbN纳米多层膜的界面结构与超硬度效应 |
| |
| 引用本文： | 李戈扬,许俊华,田家万,顾明元,戎咏华.TiN／NbN纳米多层膜的界面结构与超硬度效应[J].电子显微学报,2000,19(4):431-432. |
| |
| 作者姓名： | 李戈扬 许俊华 田家万 顾明元 戎咏华 |
| |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030
2. 上海交通大学高温材料与高温测试教育部开放实验室,上海,200030 |
| |
| 摘 要： | 由于存在超模量和超硬度效应,纳米多层膜的力学性能成为近年来薄膜研究的热点之一。金属/金属、金属/陶瓷、和陶瓷/陶瓷组成的纳米多层膜都得到了研究。陶瓷/陶瓷体系因表现出更高的硬度值而受到重视,并发现了一些具有超硬效应的多层膜体系1,2]。本文制备了NbN/TiN纳米多层膜,并研究了其界面微结构与超硬度效应。TiN/NbN纳米多层膜在日本ANELVA公司生产的SPC-350多靶磁控溅射仪上采用反应溅射法制备。溅射气体为氩气和氮气的混和气体。硅基片在Ti靶和Nb靶前交替停留不同时间,得到具有一定调制比(lNbN∶lTiN=1.5∶1)和调制周期(Λ…
|
| 关 键 词： | 氮化太 氮化铌 纳米多层膜 界面结构 超硬度效应 |
A study on the interface structure and supperhardness of TiN/NbN nano-multilayers |
| |
| LI Ge-yang,XU Jun-hua,TIAN Jia-wan,GU Ming-yuan,RONG Yong-hua.A study on the interface structure and supperhardness of TiN/NbN nano-multilayers[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2000,19(4):431-432. |
| |
| Authors: | LI Ge-yang XU Jun-hua TIAN Jia-wan GU Ming-yuan RONG Yong-hua |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
