CVD技术在超硬涂层制备中的应用

类金刚石薄膜、金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜等是近年来超硬涂层材料研究中引人注目的三种功能型薄膜材料，它们在机械、电子、光学等领域有着可观的应用前景，而这三种超硬薄膜的制备，ＣＶＤ技术起着至关重要的作用。本文简要评述了ＣＶＤ技术在近年超硬涂层发展中的应用。