| 靶/基距对CrTiA1N薄膜性能影响的研究 |
| |
| 引用本文： | 金杰,李娜,田正磊,李浩.靶/基距对CrTiA1N薄膜性能影响的研究[J].浙江工业大学学报,2013,41(1). |
| |
| 作者姓名： | 金杰 李娜 田正磊 李浩 |
| |
| 作者单位： | 浙江工业大学机械工程学院,浙江杭州,310032 |
| |
| 摘 要： | 利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13热作模具钢基体上沉积了CrTiA1N薄膜.采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪等测试仪器对薄膜的形貌和成分进行了表征和分析,测得了薄膜的表面显微硬度和膜/基结合力,并采用摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦磨损性能进行了测试.研究和分析了不同靶/基距对CrTiAIN薄膜的厚度、成分和性能的影响.
|
| 关 键 词： | 靶/基距 CrTiA1N 显微硬度 膜/基结合力 摩擦磨损性能 |
The effect of target-substrate distance on performance of CrTiAIN film |
| |
| JIN Jie
,
LI Na
,
TIAN Zheng-lei
,
LI Hao.The effect of target-substrate distance on performance of CrTiAIN film[J].Journal of Zhejiang University of Technology,2013,41(1). |
| |
| Authors: | JIN Jie LI Na TIAN Zheng-lei LI Hao |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
