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激光“清洗”探讨

作者姓名：	程国义

作者单位：	合肥工业大学

摘要：	本文研究在半导体器件生产过程中,用激光“清洗”代替常规的化学清洗的可能性;介绍了激光“清洗”的实验方法和初步结果,从而看出激光在半导体上应用的前景.
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