| 硅基光波导结构与器件 |
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| 引用本文： | 刘育梁,王启明.硅基光波导结构与器件[J].半导体光电,1996,17(1):1-6. |
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| 作者姓名： | 刘育梁 王启明 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所，深圳市华为技术有限公司 |
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| 摘 要： | 简要评述包括低损耗的电光波导器件、红外波导探测器、二氧化硅光波回路等硅基光波导的结构、工艺及其器件。
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| 关 键 词： | 半导体材料 半导体器件 硅 光波导 |
Si-based optical waveguide structures and devices |
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| LIU Yuliang,WANG Qiming.Si-based optical waveguide structures and devices[J].Semiconductor Optoelectronics,1996,17(1):1-6. |
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| Authors: | LIU Yuliang WANG Qiming |
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| Abstract: | This paper presents a concise review the structure,technology and devices of the silicon based optical waveguides including low-loss,electro-optic waveguide devices,infrared waveguide photodetectors and SiO2 optical circuits etc. |
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| Keywords: | Semiconductor Materials Semiconductor Devices Silicon Optical Waveguides |
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