| 移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术 |
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| 引用本文： | 贺俊,王青,陈磊. 移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术[J]. 红外与激光工程, 2008, 37(3): 516-520 |
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| 作者姓名： | 贺俊 王青 陈磊 |
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| 作者单位： | 南京理工大学,电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094;南京北方信息产业集团,江苏,南京,210022;南京理工大学,电子工程与光电技术学院,江苏,南京,210094 |
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| 基金项目： | 中国科学院南京天文光学技术研究所φ30mm红外干涉仪项目 |
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| 摘 要： | 叙述了自行研制的移相式泰曼-格林红外干涉仪的工作原理.针对红外光不可见的特点,利用可见光和红外光的共光路调试技术,解决了精确定位红外光路的难题,设计出一套红外干涉仪的调整方案.分别对平面镜、精磨粗糙平面和精磨粗糙球面的面形进行了测试,并使用四步移相算法还原被测波面,给出了结果数据和二维等值图、三维立体图;所测平面镜和精磨粗糙平面的面形偏差为0.077λ(PV),精磨粗糙球面面形偏差为0.520λ(PV)(λ=10.6μm).结果表明:仪器干涉系统光学质量优于λ/25,重复性优于λ/200,(λ=10.6μm).
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| 关 键 词： | 红外干涉仪 干涉仪调试 移相算法 |
| 文章编号： | 1007-2276(2008)03-0516-05 |
| 修稿时间： | 2007-08-03 |
Alignment of Twyman-Green infrared phase-shifting interferometer |
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| HE Jun,WANG Qing,CHEN Lei. Alignment of Twyman-Green infrared phase-shifting interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2008, 37(3): 516-520 |
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| Authors: | HE Jun WANG Qing CHEN Lei |
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