| 通过控制原子实现纳米图形制作研究 |
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| 引用本文： | 罗先刚,姚汉民,陈旭南,冯伯儒.通过控制原子实现纳米图形制作研究[J].微细加工技术,2000(1):51-54. |
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| 作者姓名： | 罗先刚 姚汉民 陈旭南 冯伯儒 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209 |
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| 基金项目： | 此项目受国家自然科学基金(69876041)、中科院创新基金和微细加工光学技术国家重点实验室开放基金部分资助。 |
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| 摘 要： | 基于激光冷却和捕获原子的原理，初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究。研究结果表明，此可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作，制作效率极高。
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| 关 键 词： | 纳米图形 激光准直 激光捕获 |
| 文章编号： | 1003-8213(2000)01-0010-04 |
| 修稿时间： | 1999-06-14 |
Study on Fabricating Nanometer patterns by Controlling Atoms |
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| LUO Xian-gang,YAO Han-min,CHEN Xu-nan,FENG Bo-ru.Study on Fabricating Nanometer patterns by Controlling Atoms[J].Microfabrication Technology,2000(1):51-54. |
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| Authors: | LUO Xian-gang YAO Han-min CHEN Xu-nan FENG Bo-ru |
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| Affiliation: | LUO Xian-gang
,YAO Han-min
,CHEN Xu-nan
,FENG Bo-ru
;(State Key Laboratory of Optical Technologies for Microfabrication, Institute of Optical & Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China) |
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| Abstract: | The principle and experiment of fabricating Nanometer patterns are studied primarily based on the principle of laser cooling and trapping atoms. The results show that the technology can realize super finest patterns of several nanometers and the fabricating efficiency is very high. |
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| Keywords: | Nanometer patterns Laser collimation Laser trapping |
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