摘 要: | 电荷耦合器件 CCD,在影像传感、信号处理和数字存贮等领域中已得到广泛应用,而 CCD 应用到衍射计量技术有其独到的优越性,将提高衍射计量的精度,具有一定的先进性和实用性。激光衍射测径仪为非接触、快速、高精度线径测量系统,可进行静态定点检测和动态实时测量,并可对连续生产的系统自动监测,测量范围20—510μm,精度在小于200μm 时为±0.5μm。200—510μm 时为±0.5%,其中 CCD 信号的接收全部采用 Apple-Ⅱ计算机软件编程。本文介绍的是以 MCS-51系列单片微机取代系统机,为微小尺寸计量提供了一种新的检测手段和方法。
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