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氧化钒薄膜制备工艺现状及发展
作者姓名:卫琛浩  朱军  唐洋洋  韩梅  赵霞
作者单位:西安建筑科技大学
基金项目:陕西省2011科技统筹重大地方专项(2011KPDZ01-04)
摘    要:我国钒产业发展迅速,开发钒新材料是钒产业可持续发展的重要途径。氧化钒薄膜具有从半导体到金属态的可逆性相变性能,其作为热敏材料具有广阔的应用前景。本文分析了常见氧化钒薄膜制备工艺的特点及应用情况,指出存在的问题,对我国氧化钒薄膜制备工艺的发展提出了建议。

关 键 词:薄膜  钒氧化物  可逆相变  材料
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