超声振动在拉制InSb晶体中的作用

用提拉法从熔体中拉制了InSb单晶。在长晶过程中,通过碳坩埚将超声振动导入熔体。拉出之晶体中心的小晶面区转移到了晶体的四周,尺寸也同时缩小了,这是因为超声振动搅动了熔体,并提高了它的温度。此外,还讲述了小晶面区和无小晶面区二者之间扩散电阻值的差别。这些结果表明:导入超声振动改善了晶体内部杂质浓度分布的不均匀。