热应力对FeCo薄膜磁晶各向异性能的影响 |
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引用本文: | 何志童,刘曦,曹江伟.热应力对FeCo薄膜磁晶各向异性能的影响[J].磁性材料及器件,2019,50(6). |
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作者姓名: | 何志童 刘曦 曹江伟 |
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作者单位: | 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,甘肃兰州,730070;兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室,甘肃兰州,730000 |
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摘 要: | 采用磁控溅射的方法在300℃下,分别在热膨胀系数相差较大的玻璃和NaCl单晶基片上沉积了Cr_(90)Ru_(10)(002)/Rh(002)/Fe_(40)Co_(60)(002)/Rh多层膜,以研究热应力对FeCo薄膜的磁晶各向异性能的影响。对样品进行X射线衍射(XRD)分析,研究了薄膜的外延生长关系。通过计算样品磁滞回线的面积得到了样品的磁晶各向异性能。实验结果表明,沉积在NaCl基片上的FeCo薄膜的厚度在1 nm、2 nm时磁晶各向异性能的值高达1.2×10~7 erg/cm~3,较大热应力的引入对于提高磁晶各向异性能有显著的效果。
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关 键 词: | FeCo薄膜 磁晶各向异性能 热应力 |
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