| BST薄膜的研究现状与发展趋势 |
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| 引用本文： | 张柏顺,章天金,刘江华,江娟. BST薄膜的研究现状与发展趋势[J]. 材料导报, 2003, 17(7): 39-42 |
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| 作者姓名： | 张柏顺 章天金 刘江华 江娟 |
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| 作者单位： | 湖北大学物电学院,武汉,430062 |
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| 基金项目： | 湖北省科技厅科研项目，2002AA101B05， |
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| 摘 要： | 综述了(Ba1-xSrx)TiO3(BST)薄膜材料的研究现状，包括薄膜的制备技术、电极材料的选择、组分与掺杂对电学及介电性能的影响，分析了与薄膜相关的缺陷和可靠性现象，并对未来可能的进展作了简单的描述。
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| 关 键 词： | BST薄膜 介电性能 可靠性 电极材料 半导体微电子器件 |
BST Thin Films:Research Progress and Future Trends |
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| ZHANG Baishun ZHANG Tianjin LIU Jianghua JIANG Juan. BST Thin Films:Research Progress and Future Trends[J]. Materials Review, 2003, 17(7): 39-42 |
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| Authors: | ZHANG Baishun ZHANG Tianjin LIU Jianghua JIANG Juan |
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| Abstract: | This paper reviews progress in research on BST films ,including thin film deposition techniques, the effects of film composition and doping and the choice of electrode material on the electrical and dielectric characteristics of films,and analyzes the defect and reliability phenomena associated with films. In addition,possible future developments are briefly summarized. |
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| Keywords: | BST thin film properties preparation electrode materials doping |
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