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| 在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜 | |
| 引用本文： | 赵于勒. 在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 197-199 |
| 作者姓名： | 赵于勒 |
| 作者单位： | 上海卓伦微纳米设备有限公司,上海,200125 |
| 基金项目： | 上海市科委纳米专项基金资助项目 |
| 摘 要： | SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统，它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法，使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系。本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法，以及智能型SPM通用平台的研究思路。 |
| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 SPM 通用平台 纳米结构检测 技术指标 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07-08-0197-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Combine and design SPM based on commonly used platform of SPM |
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