| 相变存储器器件单元测试系统 |
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| 引用本文： | 梁爽,宋志棠,刘波,陈小刚,封松林.相变存储器器件单元测试系统[J].半导体技术,2006,31(8):614-617. |
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| 作者姓名： | 梁爽 宋志棠 刘波 陈小刚 封松林 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,半导体功能薄膜工程技术研究中心,纳米技术研究室,上海,200050
2. 中国科学院,研究生院,北京,100039 |
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| 基金项目： | 中国科学院基金
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上海市科委科技计划
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美国SST公司资助项目 |
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| 摘 要： | 通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备,实现对硫系化合物随机存储器(C-RAM)器件性能的测试.该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加的脉冲信号关系的测试和疲劳特性测试等模块组成.通过这些测试从而找出写脉冲信号与擦脉冲信号的高度和宽度的最佳参数、C-RAM器件的阈值电压、循环寿命等重要参数.此系统不仅为研究C-RAM器件的速度、功耗、可靠性等提供了一个途径,又为C-RAM的工艺和结构参数的研究提供了试验平台.
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| 关 键 词： | 硫系化合物随机存储器 远程控制 测试系统 相变 相变存储器 器件性能 单元 测试系统 Memory Phase Change Test System Unit 试验平台 结构参数 工艺 功耗 速度 研究 循环寿命 阈值电压 最佳 宽度 高度 模块组成 |
| 文章编号： | 1003-353X(2006)08-0614-04 |
| 收稿时间： | 2006-03-14 |
| 修稿时间： | 2006年3月14日 |
Device Unit Test System on Phase Change Memory |
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| LIANG Shuang,SONG Zhi-tang,LIU Bo,CHEN Xiao-gang,FENG Song-lin.Device Unit Test System on Phase Change Memory[J].Semiconductor Technology,2006,31(8):614-617. |
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| Authors: | LIANG Shuang SONG Zhi-tang LIU Bo CHEN Xiao-gang FENG Song-lin |
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| Affiliation: | 1. Research Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technology, Laboratory of Nanotechnology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences Shanghai 200050, China; 2. Graduate University of Chinese Academy of Science, Beijing 100039, China |
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| Abstract: | All the characteristics of C-RAM (chalcogenide-random access memory) can be tested through the system that remotes computer controlling the hardware device such as pulse generator and digital source meter etc. It includes several modules of the relationship between current and voltage, voltage and current, resistance and pulse width or height, fatigue characteristics. The optimum parameters of the current height and width as well as the threshold voltage, endurance cycles and so on can be obtained through all the tests. This system provides a method for researching the speed, power consumption, reliability of C-RAM, also provides a platform for studying the C-RAM process and structural parameter. |
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| Keywords: | C-RAM remote control test system phase change |
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