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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应
作者姓名:
曹庆平
吕林波
王晓东
蒋建中
作者单位:
浙江大学 材料科学与工程学院 新结构材料国际研究中心 杭州 310027
基金项目:
国家重点研发计划;国家自然科学基金
摘 要:
金属玻璃薄膜是在金属玻璃的基础上发展出来的一种新型薄膜材料,一方面继承无序原子排列结构所赋予的优异物理、化学和机械性能,另一方面有可能通过调整物理气相沉积工艺,构筑界面,制备纳米结构金属玻璃薄膜,克服块体金属玻璃的本征脆性.近年来,金属玻璃薄膜在各个领域快速发展,引起广泛的关注,已经成为新的研究热点.本文主要通过回顾最...
关 键 词:
金属玻璃薄膜
磁控溅射
尺寸效应
弹性变形
塑性变形
硬度
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