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| 光波导用玻璃薄膜的制备及其性能研究 | |
| 引用本文： | 王浩敏,李佐宜,林更琪,胡雪涛,廖红伟.光波导用玻璃薄膜的制备及其性能研究[J].光电子技术与信息,2002,15(1):28-31. |
| 作者姓名： | 王浩敏 李佐宜 林更琪 胡雪涛 廖红伟 |
| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074 |
| 基金项目： | 国家重点实验室基金，， |
| 摘 要： | 采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜。本文重点分析了不同溅射条件如氧分压、基片种类、基片温度下制备的薄膜光学性能，通过比较，得到制备0.6328μm和1.55μm窗口下光波导器件用玻璃薄膜所需溅射条件。 |
| 关 键 词： | 玻璃薄膜 光波导 溅射工艺 制备工艺 |
| 文章编号： | 1006-1231(2002)01-0028-04 |
| 修稿时间： | 2001年6月12日 |
Preparation and Characteristics of Glass Thin-film for Optical Waveguides Deposited by the Magnetron Sputtering |
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