光波导用玻璃薄膜的制备及其性能研究 |
| |
引用本文: | 王浩敏,李佐宜,林更琪,胡雪涛,廖红伟. 光波导用玻璃薄膜的制备及其性能研究[J]. 光电子技术与信息, 2002, 15(1): 28-31 |
| |
作者姓名: | 王浩敏 李佐宜 林更琪 胡雪涛 廖红伟 |
| |
作者单位: | 华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074 |
| |
基金项目: | 国家重点实验室基金,, |
| |
摘 要: | 采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜。本文重点分析了不同溅射条件如氧分压、基片种类、基片温度下制备的薄膜光学性能,通过比较,得到制备0.6328μm和1.55μm窗口下光波导器件用玻璃薄膜所需溅射条件。
|
关 键 词: | 玻璃薄膜 光波导 溅射工艺 制备工艺 |
文章编号: | 1006-1231(2002)01-0028-04 |
修稿时间: | 2001-06-12 |
Preparation and Characteristics of Glass Thin-film for Optical Waveguides Deposited by the Magnetron Sputtering |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | |
本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录! |
|