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金属膜与金属半导体系的脉冲退火
引用本文:谭家骏.金属膜与金属半导体系的脉冲退火[J].热处理技术与装备,1994(6).
作者姓名:谭家骏
作者单位:北京工业大学
摘    要:作者对稳定状态和脉冲方式下退火的金属膜组织转变作过比较。叶在脉冲退火之后金属半导体系相变的独特性能和电子物理性能进行了研究。

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