| 超灵敏检漏的实时校准 |
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| 引用本文： | 肖立波,陈旭,黄天斌,查良镇. 超灵敏检漏的实时校准[J]. 真空科学与技术学报, 2006, 26(1): 54-56 |
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| 作者姓名： | 肖立波 陈旭 黄天斌 查良镇 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa.m3/s~10-10Pa.m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准。
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| 关 键 词： | 实时校准 超灵敏检漏 可变参考漏孔 静态累积模式 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）01-054-03 |
| 收稿时间： | 2005-06-07 |
| 修稿时间： | 2005-06-07 |
Real Time Calibration of Ultra Sensitive Leak Detection |
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| Xiao Libo,Chen Xu,Huang Tianbin,Cha Liangzhen. Real Time Calibration of Ultra Sensitive Leak Detection[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2006, 26(1): 54-56 |
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| Authors: | Xiao Libo Chen Xu Huang Tianbin Cha Liangzhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Real time calibration Ultra sensitive leak detection Variable reference leak Static accumulation mode |
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