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| 扫描探针显微镜的发展与应用 | |
| 引用本文： | 曹世智,徐毅.扫描探针显微镜的发展与应用[J].现代计量测试,1998,6(4):3-8. |
| 作者姓名： | 曹世智 徐毅 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 扫描隧道显微镜和原子力显微镜的发明大大促进了扫描探针显微镜的发展。本文介绍扫描隧道显微镜和原子力显微镜的基本工作原理、发展背景以及以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为基础衍生出来的各种扫描探针显微镜的应用。扫描探针显微镜是一种新的探测仪器，它在三维方向上的分辨率均可以达到原子量级的水平，因此在微电子学、微机械学、计量学、化学和生物医学等领域中有广泛的应用前景。 |
| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜，原子力显微镜，扫描探针显微镜 |
The Development and Aplication of Scanning Probe Microscope |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Scanning tunneling microscope (STM) Atomic force microscope (AFM) Scanning probe microscope (SPM) |
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