|
|||||
|
|
| M-Z型硅基ARROW压力传感器设计 | |
| 引用本文： | 肖素艳,王东红,刘晓为,秦建勇.M-Z型硅基ARROW压力传感器设计[J].微纳电子技术,2003,40(7):429-431,437. |
| 作者姓名： | 肖素艳 王东红 刘晓为 秦建勇 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 分析了M-Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数，并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法(FEM)研究，模拟了硅弹性膜片应力分布，确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置，并据此计算出由光弹性效应引起传感臂相位变化及其与压力的之间线性关系。 |
| 关 键 词： | M-Z型 硅基ARROW 压力传感器 结构设计 抗共振反射光波导 有限元方法 光弹性效应 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0429-03 |
Design of Mach-Zehnder interferometer for Si-based ARROW pressure sensor |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |