JLH-1型氦质谱检漏仪 |
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引用本文: | 詹德清,翁果惠.JLH-1型氦质谱检漏仪[J].电子技术,1964(3). |
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作者姓名: | 詹德清 翁果惠 |
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摘 要: | 由于当代高真空技术的迅速发展,特别要求在金属真空容器内保持极低的压强,因此必须对真空系统设备的连接、各种真空容器和管道等进行密封试验,以消除一切可能存在的漏隙。因此在很多场合下普遍需要一种灵敏度较高的检漏仪器,来探知真空系统上极其微小的漏孔。福州无线电厂已试制成功一种 JLH-1(仿ПТИ-4А)型的氦质谱检漏仪,它是一可移式的、用氦气作探测气体的小型磁偏转质谱仪,可用于寻找金属真空系统任何部分的微漏,是一种重要的仪器。
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