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硫化温度对铜锌锡硫薄膜特性的影响
作者姓名:谢敏  庄大明  刘江  郭力  宋军
作者单位:清华大学材料学院先进成形制造教育部重点实验室
基金项目:清华大学自主研究计划2010Z08113资助项目~~
摘    要:采用预制膜硫化法制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜,分别在350,400,450,500,550℃进行硫化,研究了硫化温度对薄膜特性的影响。结果表明:硫化温度低于400℃时硫化反应基本上不发生,主要发生Cu6Sn5和Cu5Zn8两相中元素相互扩散的合金化过程,只有少量硫化物Sn3S4和ZnS生成;硫化温度为450℃时,合金相消失,硫化后的薄膜同时含有CZTS和SnS;硫化温度为500℃时薄膜的主要组成相为CZTS,其晶粒尺寸达2μm,但表面粗糙;硫化温度为550℃薄膜中CZTS晶粒尺寸约为2μm,表面平整。

关 键 词:无机非金属材料  太阳电池  铜锌锡硫  溅射  硫化
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