离化掺杂技术

近几年来,随着微细加工技术的迅速发展,不仅要求图形线条加工宽度进入亚微米量级,而且要求外延生长膜层厚度方向实现亚微米以下的尺寸控制。由于分子束外延在薄膜生长技术方面与气相外延、液相外延相比,对实现膜层亚微米尺寸具有其独特的优点,所以自它问世以来进展很快。最近几年根据国内外有关文献报道,分子束外延已成为制作新型的半导体材料、复杂结构的电子器件及开展表面物理学、表面化学、表面材料分析方面的有力手段。