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| 圆度误差的纳米测量技术 | |
| 作者姓名： | 胡谦 张敬彩 王红 曹麟祥 |
| 作者单位： | 1. 中国物资储运郑州公司计量中心 2. 机械工业部机械科学研究院 3. 佛山职业技术学院 4. 西北工业大学 |
| 摘 要： | 一、引言随着科学技术的发展，纳米测量技术在尖端产品和现代化武器制造中具有非常重要的地位。例如，静电悬浮化陀螺需要10nm或更精确的转子。为了测量如此精密零件的形状，就必须突破圆度仪主轴系统误差的制约，为此可以采用误差分离技术，即在测量结果中将主轴系统误差与零件圆度误差分离开来，从而剔除前者，进一步减小圆度仪的测量不确定度。圆度仪的结构有转台式和转轴式两种，如图a、b所示。1.被测零件；2.电感测微仪；3.被测零件；4.电感测微仪；5.记录器；6.记录器。本文提出的“两步法”误差分离技术仅用一个传感和零件的一次转位… |
| 关 键 词： | 圆度仪 圆度测量 圆度误差 纳米测量技术 误差分离 测量不确定度 |
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