氧化物阴极表面Ag污染对三极管成品率影响研究

针对钛陶瓷三极管成品率偏低的问题，本文利用能量色散谱仪对钛陶瓷三极管样品阴极表面成分进行分析，发现原封接工艺制备的三极管用氧化物阴极表面被一定量的Ag污染。根据排气封接工艺判断出阴极表面沉积的Ag来自于Ag-Cu焊料，通过模型计算安全保温时间，优化了排气分解保温时间。根据优化排气封接工艺制备的三极管内阴极表面未检测出Ag成分；将该阴极和被Ag污染的阴极放入二极管进行发射性能测试，结果显示被Ag污染的阴极和未被Ag污染的阴极拐点电流密度在800℃时分别为3和11 A/cm²,优化排气封接工艺制备的三极管成品率由原来的30%提高至80%。