| 微流控芯片金属模具制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 李建华,陈迪,刘景全,朱军.微流控芯片金属模具制备工艺研究[J].微细加工技术,2005(4):56-58,75. |
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| 作者姓名： | 李建华 陈迪 刘景全 朱军 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家863MEMS重大专项资助项目（200211404150）;国家863计划资助项目（2004AA404260） |
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| 摘 要： | 为了解决SU-8光刻胶电铸金属模具中遇到的光刻胶脱落和电铸后去胶难等问题，提出了采用硅橡胶（PDMS）微复制与电铸毛细管电泳芯片金属模具相结合的新工艺。该方法首先用SU-8光刻胶制备微通道阳模，以此为模版浇注PDMS阴模，然后在此PDMS阴模上电镀金属模具。与采用SU-8光刻胶电镀金属模具相比，此方法不存在光刻胶与衬底结合力差以及去胶难等问题，所制备的金属模具侧壁垂直，表面光滑。
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| 关 键 词： | SU-8 UV—LIGA PDMS 金属模具 微流控 |
| 文章编号： | 1003-8213（2005）04-0056-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-23 |
| 修稿时间： | 2005-03-232005-05-20 |
Microfluidic Mold Insert Prepared Using a Novel Method |
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| LI Jian-hua,CHEN Di,LIU Jing-quan,ZHU Jun.Microfluidic Mold Insert Prepared Using a Novel Method[J].Microfabrication Technology,2005(4):56-58,75. |
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| Authors: | LI Jian-hua CHEN Di LIU Jing-quan ZHU Jun |
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| Affiliation: | The State Laboratory of Micro/Nanometer Fabrication Technology, Key Laboratory of Thin Film and Microfabrication Technology of Ministry of Education, Research Institute of Micro/Nanometer Science and Technology, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200030, China |
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| Abstract: | A novel method was proposed using SU-8 as the electroplating mold, prepared by this method shows smooth SU-8 removal. to prepare a microfluidic mold insert. Instead of directly a PDMS replica was employed. The metallic mold insert surface and vertical walls while without the difficulty of |
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| Keywords: | SU-8 U V- LIGA PD M S mold insert mierofluidic |
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