不锈钢化学腐蚀防护碳层

氢化碳（a-C：H）薄膜具有良好的化学惰性、耐磨性、热稳定性和导热性，对其作为一种替代材料用作钢的防护层进行了研究。利用射频磁控溅射，在压力0．6Pa、射频功率150W和室温的条件下将薄膜沉积在不锈钢、普通碳钢和硅片上。工艺中使用甲烷等离子体。以各种酸（H2SO4、HNO3、HCl、HF）、碱性溶液（NH4OH、KOH）和有机溶剂（2-丙醇，二甲苯和丙酮）进行湿法腐蚀试验。用傅里叶变换红外光谱、拉曼光谱、原子力显微镜和循环伏安测量对试样进行了分析。试样的退化速度慢和腐蚀程度低表明a-C：H薄膜有很高的耐化学性，这意味着该薄膜是一种很有发展前途的材料，可作为防护层应用于化学工业的许多领域。