| 激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2 |
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| 作者姓名： | 张晋敏 谢泉 余平 张勇 肖清泉 杨子义 梁艳 曾武贤 |
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| 作者单位： | 贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025;贵州大学,电子科学与信息技术学院,贵州,贵阳,550025 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，贵州省青年优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响.测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相α-FeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 激光扫描退火 结晶性质 显微结构 |
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